Uređaj mikroelektromehaničkog sustava i način izrade istog

1. Predmetni izum odnosi se na tehničko područje mikro-mehaničkih sustava, a posebno na uređaj mikro-elektromehaničkog sustava i njegovu strukturu pakiranja.

Pozadinska tehnika:

2. Mikro-elektro-mehanički sustav (mems, mikro-elektro-mehanički sustav), također poznat kao mikro-elektro-mehanički sustav, mikro-sustav, mikro-stroj, itd., odnosi se na visokotehnološke uređaje veličine od nekoliko milimetara ili čak manji.

3. Uređaji mikroelektromehaničkih sustava (ili mems uređaji) su uređaji proizvedeni pomoću tehnologije poluvodiča za izradu mehaničkih i elektroničkih komponenti. Uobičajeni MEMS uređaji uključuju rezonatore, akceleratore, senzore tlaka, aktuatore, zrcala, grijače i mlaznice pisača. Strukturne promjene, kao što su pucanje, naboranje, raslojavanje, savijanje, savijanje itd., mogu čak dovesti do kvara u radu uređaja.

4. S obzirom na gore navedene nedostatke, potrebno je osigurati novi MEMS uređaj i strukturu njegovog pakiranja.

Kontaktirajte nas:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894