Mikroelektromehanički uređaj i način njegove izrade i elementi tehničke izvedbe

Elementi tehničke izvedbe:

4. S obzirom na gore navedene probleme, predložen je ovaj izum. Ovaj izum osigurava novu strukturu mems uređaja, koja može izbjeći upotrebu konzolnih greda, ima veću izdržljivost i ima jednostavniju strukturu. Ovaj izum također osigurava novu metodu proizvodnje mems uređaja, koja ima jednostavne korake procesa i može poboljšati proizvodni učinak.

5. Prema primjeru izvedbe, mikroelektromehanički uređaj može sadržavati: izolacijski supstrat; potporni stup postavljen na supstrat, potporni stup koji podržava dokaznu masu; okružujući supstrat na supstratu Jedan ili više pari ploča elektroda raspoređenih na bloku mase, svaki par ploča elektroda je raspoređen na suprotnim stranama bloka mase; i izolacijska pokrovna ploča, na kojoj je raspoređen par elektrodnih ploča koje odgovaraju jednom ili više parova elektrodnih ploča ili više parova elektroda, kada pokrovna ploča prekriva jedan ili više parova elektrodnih ploča, jedan ili više parova elektroda su u električnom kontaktu s jednim ili više parova elektrodnih ploča.

6. U nekim izvedbama, potporni stup, probna masa i jedan ili više pari elektrodnih ploča oblikovani su od vodiča ili poluvodičkog materijala, a vodljivi vodovi spojeni na potporni stup spojeni su s jedne strane supstrata. Izvod, vodljivi vodovi spojeni na jedan ili više parova elektroda izvode se s jedne strane pokrovne ploče.

7. U nekim izvedbama, pokrovna ploča je oblikovana s otvorom između jednog ili više parova elektroda kako bi se otkrio potporni stup i probna masa.

8. U nekim izvedbama, visina probne mase je niža od visine jednog ili više parova elektrodnih ploča.

9. U nekim izvedbama, mikroelektromehanički uređaj se koristi kao akcelerometar, a jedan ili više pari elektrodnih ploča se koriste za mjerenje promjena u kapacitetu zbog promjena u položaju probne mase.

10. U nekim izvedbama, mikroelektromehanički uređaj se koristi kao žiroskop, a jedan ili više pari elektrodnih ploča uključuju najmanje prvi par elektrodnih ploča i drugi par elektrodnih ploča, prvi par elektrodnih ploča za pogon A. signal se primjenjuje kako bi pokrenuo probnu masu da oscilira između prvog para elektrodnih ploča, a drugi par elektrodnih ploča koristi se za mjerenje promjena u kapacitetu zbog promjena u položaju probne mase.

Kontaktirajte nas:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894