Mikroelektromehanički uređaj i način izrade istog

1. Ovaj izum se odnosi na mikroelektromehanički uređaj i postupak njegove proizvodnje.

Pozadinska tehnika:

2. Mikroelektromehanički uređaj (mems) je tehnologija razvijena sveobuhvatno na temelju tehnologije mikroelektronike, tehnologije proizvodnje poluvodiča i drugih disciplina, koja integrira višestruka tehnička polja kao što su litografija, korozija, taloženje tankog filma, mikrostrojna obrada i precizna strojna obrada, ostvarujući minijaturizacija preciznih uređaja za potrebe različitih aplikacija. Uobičajeni mems uređaji uključuju akcelerometre i žiroskope.

3. Trenutačni mems akcelerometri ili žiroskopi uglavnom koriste dvije ili više struktura konzolne grede za podupiranje bloka mase. Blok mase može se pomaknuti zbog ubrzanja ili se može natjerati da oscilira, dok se mjeri promjena kapacitivnosti uzrokovana blokom mase. Mogu se mjeriti ubrzanje i kutna brzina. Međutim, proizvodni proces konzolne grede je kompliciran, a problem neravnoteže naprezanja između konzolnih greda je sklon pojavi.

Kontaktirajte nas:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894